Trockenätzgas Difluormethan

Beim Trockenätzen, auch Plasmaätzen genannt, wird hochenergetisches Plasma verwendet, um Material von der Oberfläche eines Wafers zu entfernen. Plasma besteht aus chemisch reaktiven Ionen und freien Radikalen, die den Wafer bombardieren, die molekularen Bindungen des Materials aufbrechen und zum Wegätzen führen. Zu den Trockenätztechniken gehören reaktives Ionenätzen (RIE), Plasmaätzen und Ionenätzen. Trockenätzen ermöglicht eine bessere Kontrolle des Ätzprozesses, bietet eine höhere Auflösung und ist in der Lage, komplexere Strukturen zu ätzen

R32, auch bekannt als Difluormethan, ist ein hochwirksames Ätzgas, das häufig in Plasmaätzprozessen in der Elektronikindustrie eingesetzt wird. Darüber hinaus ist es ein hervorragendes Kühlmittel, das die Ozonschicht nicht abbaut und häufig in Kühlgeräten wie Klimaanlagen, Kühlschränken und Autoklimaanlagen verwendet wird. Durch den Einsatz dieses umweltfreundlichen Kühlmittels leisten wir nicht nur einen Beitrag zum Schutz der Umwelt, sondern stellen auch sicher, dass wir die optimale Temperatur für unsere Geräte aufrechterhalten und gleichzeitig mit maximaler Effizienz arbeiten können. R32 stellt wirklich eine bemerkenswerte Lösung dar, die den vielfältigen Anforderungen der heutigen Branche gerecht wird.