R32 Difluormethan als Trockenätzgas für Si3N4

R32 Difluormethan, auch bekannt als HFC-32, Summenformel: CH2F2, hat als anisotropes Ätzgas für Si3N4 eine relativ geringe Selektivität für SiO2 und Si. Es ist nicht nur das Hauptätzmittel, sondern kann auch als Hilfsgas für andere Hauptätzmittel verwendet werden, um das Fluor/Kohlenstoff-Verhältnis anzupassen.

 

R32 – Hauptmerkmale:

1. Nicht ozonschädigend

2. Ungiftig

3.Fluorkohlenwasserstoffgas (HFC).

4.Öl: POE (Polyolesteröl)

Im modernen Zeitalter der Halbleiterfertigung, in dem Präzision und Miniaturisierung Schlüsselfaktoren sind, spielt der Ätzprozess eine entscheidende Rolle. Beim Ätzen handelt es sich um eine komplexe Technik, mit der Materialschichten von Halbleiterwafern selektiv entfernt werden und so die Erstellung komplexer Schaltkreismuster ermöglicht wird.

Beim Trockenätzen wird das Medium mit Gas geätzt. Zu den gängigen Trockenätzverfahren gehören physikalisches Ätzen (z. B. Ionenstrahlätzen) und chemisches Dampfätzen (z. B. Plasmaätzen). Das Gas wird zum Kratzen auf die Oberfläche des Substrats aufgetragen und zeichnet sich durch eine hohe Bearbeitungsgenauigkeit aus.

R32 Difluormethan ist ein häufig verwendetes Trockenätzgas, das häufig in Plasmaätzprozessen in der Elektronikindustrie eingesetzt wird. Darüber hinaus ist es auch ein Kühlmittel ohne Ozonabbaupotenzial und wird häufig in Kühlgeräten wie Klimaanlagen, Kühlschränken und Autoklimaanlagen verwendet. Im Vergleich zu herkömmlichen Kältemitteln weist R32-Gas eine höhere Kühleffizienz und eine geringere Umweltbelastung auf.

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