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Schwefelhexafluorid SF6-Gashalbleiter Tel.:+86-592-5803997
Schwefelhexafluorid SF6-Gas ist ein synthetisches, geruchloses Gas, das in der Elektrizitätsindustrie verwendet wird, um den sicheren und zuverlässigen Betrieb von Netzen zu gewährleisten. Es ist äußerst stabil, nicht-toxisch, nicht-entflammbar und elektronegativ, was bedeutet, dass es keine anderen Verbindungen bildet, die seinen Zustand und seine Wirksamkeit verändern.
SF6-Gas ist eines der am häufigsten verwendeten Fluoridgase beim Trockenätzen von Halbleitern. Es zeichnet sich durch eine hohe Selektivität und eine starke Ätzrate aus. Es eignet sich zum Ätzen von Materialien mit niedriger Dielektrizitätskonstante wie Siliziumoxid, Siliziumfluorid, Siliziumnitrid usw.
SF6 CAS-NR.:2551-62-4
Formel, Struktur und Spezifikationenvon SF 6 -Gas
Die chemische Formel von Schwefelhexafluorid lautet SF6und seine Molmasse beträgt 146,00554 g mol-1. Die Struktur von Schwefelhexafluorid ist oktaedrisch, wobei 6 Fluoratome an ein zentrales Schwefelatom gebunden sind. Jede S-F-Bindung hat einen 90°-Winkel. Seine chemische Struktur kann wie folgt beschrieben werden, in den üblichen Darstellungen, die für organische Moleküle verwendet werden.
| Spezifikationen | Firmenstandard |
| SF6 | Größer oder gleich 99,995 % |
| Luft | Weniger als oder gleich 10 ppm |
| CF4 | Weniger als oder gleich 2 ppm |
| C2F6 | Weniger als oder gleich 20 ppm |
| C3F8 | Weniger als oder gleich 5 ppm |
| Niedriger Sulfidgehalt | Nicht erkannt |
| H2O | Weniger als oder gleich 1 ppm |
| Säure wie HF | Weniger als oder gleich 0,1 ppm |
| Hydrolysierbare Fluoride als HF | Weniger als oder gleich 0,3 ppm |
| Mineralöl | Weniger als oder gleich 1 ppm |
Anwendungen von gasförmigem Schwefelhexafluorid
Schwefelhexafluorid (SF6)-Plasmen werden häufig beim Tiefenätzen von Silizium (Si), Siliziumoxid (SiO2) und neuerdings auch Quarzglas verwendet.
Schwefelhexafluorid ist eine anorganische Verbindung. Es ist ein farbloses, geruchloses, ungiftiges, nicht{2}}entflammbares, stabiles Gas bei normaler Temperatur und normalem Druck. Es handelt sich um eine neue Generation isolierender dielektrischer Ultrahochspannungsmaterialien. Als guter Gasisolator wird es hauptsächlich zur Lichtbogenlöschung in Hochspannungsschaltern und als Isoliermaterial in Großtransformatoren und Hochspannungskabeln verwendet. Häufig werden ölgefüllte Leistungsschalter (OCBs) ersetzt, die schädliche PCBs enthalten können.
Schwefelhexafluorid war das Tracergas, das bei der ersten Modellkalibrierung der Straßenluftverteilung verwendet wurde. Es wurde erfolgreich als Tracer in der Ozeanographie eingesetzt, um die Diapycnalmischung und den Luft-{0}}Meergasaustausch zu untersuchen.
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